张山,男,博士,副教授,山东乳山人。
主要研究方向:激光直写曝光控制与超精密驱动定位技术。主持山东省自然科学基金1项,参加山东省自然科学基金1项、经费百万的横向课题1项、校级课题5项。
代表性科研论文:
1.张山,王雷,吕英俊.工作台各速度段激光直写二元图案[J].光学精密工程,2018,26(03):531-540.
2.Zhang shan, Wang Lei.Suppression control of positioning noise for dual stage with coupling damper[J].U.P.B.Sci. Bull.,Series D, 2015, 77(2).
3.张山,王雷.基于腹底式被动阻尼器抑制精密气浮工作台的定位噪声[J].光学精密工程,2012,20(12):2704-2711.
4.张山,谭久彬,王雷,等.激光直写中误差校正迭代方法的改进(英文)[J].光学精密工程,2010,18(02):317-325.
5.张山,谭久彬,王雷,等.直角坐标激光直写的动态曝光模型[J].光学精密工程,2008,(08):1354-1360.
指导学生获奖:
指导在校本科生参加“挑战杯”、全国电子设计竞赛、“蓝桥杯”等学科竞赛,获全国二等奖1项,省级一等奖3项。指导山东省大学生创新创业训练计划项目1项。